درک کنید که فرایند پوشش خلاء چگونه تحقق می یابد

روکش خلافرآیندی است که برای تولید مواد فیلم نازک با کیفیت بالا استفاده می شود. این فیلم با تبخیر حرارتی یا لکه دار شدن مواد آلی یا معدنی بر روی سطح یک بستر در شرایط خلاء ، فیلم های نازک تولید می کند. در این مقاله به طور مفصل اجرای پوشش خلاء ارائه می شود.

فرآیند پوشش خلاء شامل مراحل زیر است:

1. بستر و مواد مناسب را انتخاب کنید

انتخاب بستر و مواد مناسب اولین قدم در پوشش خلاء است. این بستر می تواند شیشه ، پلاستیک ، فلز یا نانومواد دیگر باشد. مواد می توانند ارگانیک یا معدنی باشند ، مانند فلزات ، نیمه هادی ها ، اکسیدها یا نیتریدها.

2. سیستم پوشش خلاء را بارگیری کنید

مرحله دوم بارگذاری بستر و مواد در سیستم پوشش خلاء است. سیستم پوشش خلاء شامل یک محفظه خلاء ، یک تبخیر کننده فلزی ، یک لکه دار و یک سیستم کنترل است. محفظه خلاء یک فضای بسته است که برای حفظ محیط خلاء استفاده می شود ، تبخیر کننده های فلزی و خلط دستگاه هایی هستند که برای تبخیر یا لکه دار شدن مواد روی بسترها استفاده می شوند و از سیستم کنترل برای نظارت و تنظیم محیط خلاء و تبخیر مواد یا سرعت لکه دار استفاده می شود.

3. خلاء

پس از بارگیری مواد و بستر ، محفظه خلاء باید تخلیه شود. جاروبرقی یک گام بسیار مهم است ، زیرا حفظ فشار کم فشار و خلوص بالا می تواند کیفیت غشاء را تضمین کند. محیط خلاء معمولاً زیر 10^-6 MBAR برای حذف مولکول های گاز و سایر آلاینده ها است.

4. تبخیر مواد یا لکه دار

هنگامی که محیط خلاء به فشار مورد نظر می رسد ، می توان مواد را تبخیر یا بر روی بستر قرار داد. دو روش تبخیر مواد وجود دارد: تبخیر حرارتی و تبخیر پرتو الکترونی. لکه دار کردن همچنین دو روش دارد: لکه دار شدن مگنترون و لکه دار شدن قوس. از هر روش استفاده می شود ، تبخیر مواد یا سرعت لکه دار و ضخامت فیلم باید کنترل شود.

5. فیلم چند لایه درست کنید

هنگامی که یک غشای تک لایه ای ساخته شد ، می توان چندین لایه را در کنار هم جمع کرد تا یک کامپوزیت تشکیل شود. از مواد مختلف و فرآیندهای رسوب می توان استفاده کرد ، مانند رسوب متناوب ، همبستگی مواد چند سنی و رسوب پهنه بندی.

6. کیفیت غشای را آزمایش کنید

مرحله آخر آزمایش کیفیت غشای است. آزمایشات می تواند شامل ضخامت ، خصوصیات فیزیکی ، خصوصیات نوری و خصوصیات الکتریکی از جمله دیگر باشد. تعیین کنید که آیا ماده غشایی مطابق با نتایج آزمون ، الزامات را برآورده می کند.

به طور خلاصه ، فناوری پوشش خلاء روشی برای دستیابی به فیلم های نازک با کیفیت بالا است. باید بستر و مواد مناسب را انتخاب کند ، سیستم پوشش خلاء را بارگیری کند ، جاروبرقی کند ، مواد تبخیر یا لکه دار را بسازد ، فیلم چند لایه ای بسازد و کیفیت فیلم را آزمایش کند. فناوری پوشش خلاء به طور گسترده در زمینه های الکترونیک ، اپتیک ، پزشکی و انرژی مورد استفاده قرار گرفته است.