اصل کنترل فشار تجهیزات پوشش خلاء

1. مقدمه پس زمینه
تجهیزات پوشش خلاء نوعی تجهیزات است که به طور گسترده در تولید صنعتی مورد استفاده قرار می گیرد. وظیفه اصلی آن قرار دادن موادی است که باید در محفظه پوشش خلاء پوشانده شود و از طریق واکنش تحت درجه حرارت بالا و محیط خلاء بالا ، لایه فیلم به طور مساوی روی سطح مواد قرار می گیرد. ، و یک لایه پوشش خاص با عملکردها و ویژگی های خاص تشکیل دهید. در میان آنها ، درجه خلاء و میزان چسبندگی در تجهیزات شاخص های مهمی است که بر کیفیت لایه پوشش تأثیر می گذارد و پایداری درجه خلاء به کنترل فشار در تجهیزات بستگی دارد.
2. اصل کنترل فشار تجهیزات پوشش خلاء
1. تعریف درجه خلاء
قبل از معرفی اصل کنترل فشار ، لازم است که خلاء چیست. در فیزیک ، خلاء به محیط گاز اشاره دارد که فشار آن کمتر از فشار جوی است ، بنابراین میزان خلاء به فشار گاز در یک فضای خاص اشاره دارد. به طور کلی ، خلاء معمولاً در Pascals (PA) یا نوار متر (MBAR) اندازه گیری می شود. در تجهیزات پوشش خلاء ، دامنه معمول خلاء 10^-6pa ~ 10^-2PA است.
2. اصل کنترل فشار
هنگامی که خلاء خیلی زیاد یا خیلی کم باشد ، بر عملکرد عادی تجهیزات تأثیر می گذارد. بنابراین ، کنترل سطح خلاء در تجهیزات از طریق یک روش خاص لازم است. در میان آنها ، کنترل فشار یک روش کنترل نسبتاً ساده و کارآمد است. به طور خاص ، اصل کنترل فشار استفاده از یک کنترلر فشار برای کنترل سرعت جریان گاز در تجهیزات با تشخیص فشار انتهای کنترل شده و سپس از طریق مکانیسم بازخورد ، با کنترل باز شدن دریچه ، به منظور دستیابی به هدف کنترل فشار است.
3. ترکیب اصلی کنترل کننده فشار
در تجهیزات پوشش خلاء ، به طور کلی از یک کنترل کننده فشار برای کنترل فشار استفاده می شود. ترکیب اصلی آن شامل چهار بخش است: سنسور تشخیص ، کنترلر ، محرک و سیستم کنترل.
سنسور تشخیص: عمدتاً برای تشخیص تغییر فشار انتهای کنترل شده و تبدیل آن به خروجی سیگنال الکتریکی مربوطه برای استفاده توسط کنترلر استفاده می شود.
کنترل کننده: این امر به طور عمده خروجی سیگنال الکتریکی را توسط سنسور دریافت می کند ، آن را فرایندها و تجزیه و تحلیل می کند ، و سپس نتیجه تجزیه و تحلیل را به محرک باز می کند تا درجه باز شدن محرک را کنترل کند.
محرک: این امر به طور عمده با کنترل درجه باز شدن شیر ، سرعت جریان گاز در تجهیزات را کنترل می کند تا به هدف کنترل فشار برسد.
سیستم کنترل: از این امر عمدتاً برای نظارت و کنترل شاخص های مختلف در تجهیزات مانند دما ، درجه خلاء و غیره استفاده می شود و یک سری استراتژی های کنترل را ایجاد می کند.
3 خلاصه
به طور خلاصه ، اصل کنترل فشار در تجهیزات پوشش خلاء ، کنترل فشار در تجهیزات از طریق یک مکانیسم بازخورد نسبتاً ساده و کارآمد است. برای ایجاد چنین سیستم کنترل پایدار ، به پشتیبانی فنی از جنبه های مختلف سیستم کنترل تجهیزات ، مانند نظارت پارامتر ، الگوریتم کنترل ، کنترل محرک ، پیوند سیستم و غیره نیاز دارد. این عوامل فنی نیاز به همکاری برخی از پرسنل حرفه ای و فنی دارند تا اطمینان حاصل شود که تجهیزات می توانند عملکرد عالی تری نشان دهند.